é›»é一般å¯åˆ†ç‚ºä»¥ä¸‹å¹¾é¡ž:
(1) 蒸發(fÄ): 表é¢ç²˜é™„;
飛濺: 表é¢äº¤æ›;
(3) æ°´é層: 分åçµ(jié)åˆ
蒸發(fÄ)和濺射都是通éŽåœ¨çœŸç©ºæ¢ä»¶ä¸‹è’¸é¤¾æˆ–?yà n)Rå°„åœ¨å¡‘æ–™é›¶ä»¶è¡¨é¢æ²‰ç©å„種金屬和éžé‡‘屬薄膜的。通éŽé€™ç¨®æ–¹å¼, å¯ä»¥ç²å¾—éžå¸¸è–„çš„è¡¨é¢æ¶‚å±¤ã€‚åŒæ™‚(shÃ), 具有速度快ã€é™„著力好的çªå‡ºå„ª(yÅu)點(diÇŽn)。真空蒸發(fÄ)是一種在高真空æ¢ä»¶ä¸‹åŠ ç†±é‡‘å±¬çš„æ–¹æ³•, 在冷å»åŽåœ¨æ¨£å“表é¢ç†”化ã€è’¸ç™¼(fÄ)å¹¶å½¢æˆé‡‘屬膜。用于蒸發(fÄ)的金屬是é‹å’Œé»ƒé‡‘。
這些ä¸åŒçš„電鿖¹æ³•在導(dÇŽo)電性上有什么å€(qÅ«)別?
ä¸€èˆ¬é›»éæ˜¯æŒ‡æ°´é›»é。水é層是導(dÇŽo)電的。連續(xù)真空電ééžå°Ž(dÇŽo)電表é¢çš„附著力和è€ç£¨æ€§å¦‚何?由于電éé€šå¸¸ç”¨äºŽè¡¨é¢ (表é¢), 濺射主è¦ç”¨äºŽå…§(nèi)è¡¨é¢ (抗 emi, 以åŠè¡¨é¢è™•ç†çš„å°é‘°åŒ™, 如一些éµ)。相比較而言, é›»é膜厚約 0.01-0.02MM, 真空濺射膜厚約為 0.005MM, é›»éçš„è€ç£¨æ€§å’Œé™„著力相å°(duì)較好。
濺射
Ar 離å主è¦é€šéŽè¼å…‰æ”¾é›»å°(duì)目標(biÄo)表é¢ç”¢(chÇŽn)生影響, 目標(biÄo)的原å被噴射并沉ç©åœ¨åŸºæ¿è¡¨é¢å½¢æˆè–„膜。濺射膜的性能和å‡å‹»æ€§å„ª(yÅu)于蒸發(fÄ)膜, 但沉ç©é€Ÿåº¦æ¯”蒸發(fÄ)膜慢得多。幾乎所有新的濺射è¨(shè)備都使用強(qiáng)ç£é«”來螺旋電åä¾†åŠ é€Ÿç›®æ¨™(biÄo)周åœçš„æ°¬é›»é›¢, é€™å¢žåŠ äº†ç›®æ¨™(biÄo)與氬離å碰撞的概率, æé«˜äº†æ¿ºå°„速度。一般情æ³ä¸‹, ç›´æŽ¥é›»æµæ¿ºå°„用于金屬涂層, è€Œå°„é »äº¤æµæ¿ºå°„用于éžå°Ž(dÇŽo)é›»é™¶ç“·ã€‚å…¶åŸºæœ¬åŽŸç†æ˜¯åœ¨çœŸç©ºä¸é€šéŽè¼å…‰æ”¾é›»å°(duì)目標(biÄo)表é¢ç”¢(chÇŽn)生氬離å的影響。ç‰é›¢åé«”ä¸çš„é™½é›¢åæœƒ(huì)åŠ é€Ÿåˆ°è² (fù)極表é¢, ä½œç‚ºæ¿ºå°„ææ–™ã€‚這種沖擊將使目標(biÄo)ææ–™é£›å‡ºå¹¶æ²‰ç©åœ¨åŸºæ¿ä¸Šã€‚電影。
一般來說, 濺射法薄膜涂層有幾個(gè)特點(diǎn)。
(1) 金屬ã€åˆé‡‘或絕緣體å¯åˆ¶æˆè–„膜。
(2) 在åˆé©çš„è¨(shè)ç½®æ¢ä»¶ä¸‹, å¯å°‡å¤šå¾©(fù)雜目標(biÄo)制æˆç›¸åŒæˆåˆ†çš„薄膜。
(3) 目標(biÄo)ææ–™å’Œæ°£é«”分å的混åˆç‰©æˆ–化åˆç‰©å¯ä»¥é€šéŽåœ¨æŽ’放大氣ä¸åŠ å…¥æ°§æ°£æˆ–å…¶ä»–æ´»æ€§æ°£é«”ä¾†åˆ¶é€ ã€‚
(4) å¯ä»¥æŽ§åˆ¶ç›®æ¨™(biÄo)的輸入電æµå’Œæ¿ºå°„時(shÃ)é–“, 便于ç²å¾—高精度的薄膜厚度。
(5) 與其他工è—相比, 生產(chÇŽn)大é¢ç©å‡å‹»è†œæ›´æœ‰åˆ©ã€‚
(6) 被測é‡çš„ç²’å幾乎ä¸å—é‡åŠ›å½±éŸ¿, 目標(biÄo)和基æ¿çš„ä½ç½®å¯ä»¥è‡ªç”±æŽ’列。
(7) 基æèˆ‡è–„膜之間的粘附強(qiáng)度是常è¦(guÄ«)蒸發(fÄ)膜的10å€ä»¥ä¸Š, 由于由于濺射粒å的高能é‡ã€‚åŒæ™‚(shÃ), åªè¦æº«åº¦è¼ƒä½Ž, 高能é‡å°±èƒ½ä½¿åŸºæ¿ç²å¾—晶體膜。
(8) 在æˆè†œåˆæœŸ, æˆæ ¸å¯†åº¦è¼ƒé«˜, å¯ç”¢(chÇŽn)生10ç´ç±³ä»¥ä¸‹çš„薄膜連續(xù)膜。
(9) 目標(biÄo)壽命長, å¯é€£çºŒ(xù)ã€è‡ªå‹•(dòng)長時(shÃ)é–“åˆ¶é€ ã€‚
(10) é€šéŽæ©Ÿ(jÄ«)器的特殊è¨(shè)計(jì), å¯ä»¥å°‡ç›®æ¨™(biÄo)制æˆå„種形狀, 從而更好地控制和最有效地生產(chÇŽn)。é層厚度比真空é層厚, é層è€ç£¨æ€§å„ª(yÅu)于實(shÃ)éš›é層。
總之, 這些差異如下所示:
1. 真空電éå·¥è—æ˜¯ç’°(huán)ä¿çš„, 在水電ééŽç¨‹ä¸å˜åœ¨é𱿂£ã€‚
2. 真空é膜工è—類似于烘焙清漆工è—, 但水éå·¥è—ä¸åŒã€‚
3. 真空é層的附著力高于水é的附著力, 應(yÄ«ng)æ·»åŠ UV。